上一章节我们简单的介绍了怎么样从外观方面给大家讲述了如何去初步判定一个影像测量仪是否是合格品的判断标准，以及如何让影像仪生产厂家给我们现场检验仪器的标准性，今天我们就从深入层次的去了解哪些参数决定了测量仪是否合格。下面就给大家总结出了几个主要的参数。
| 标准项目 | 标准器及其它设备 |
| 聚焦平面尺寸测量示值误差（Exy） | 不确定度不大于1/4MPEV的线纹尺或二维掩模版 |
| 光轴方向尺寸测量示值误差（Ez） | 不确定度不大于1/4MPEV的量块或台阶规 |
| 影像探针系统尺寸测量示值误差（Ev） | 不确定度不大于1/4MPEV的线纹尺或掩模版 |
| 各截面测量结果一致性（Es） | 专用台阶规 |
| 探测误差（P2d） | 标称直径（20-50）mm，圆度不大于1/4MPE的圆形靶标 |
| 影像测头探测误差（Pv） | 标称直径（0.1-1）um，圆度不大于0.5um的圆形靶标 |
| 变倍探测误差（Pz） | 圆度不大于0.5um且标称直径在视场范围内的圆形靶标 |
另外标准前应确认仪器的外观及相互作用无影响校准正确实施及校准结果的缺陷。以上表格的数据获得的操作步骤及如何去计算的方法下面章节我们会给大家进一步说明，这里我们仅是给大家理顺思路。当然大家也可以致电我司，我们的生产研发工程师也会给出大家最专业的解答。
