1、清洁样品夹、螺旋测微计主轴端部和载物台的接触表面。

　　2、调节光学影像仪放大器，使得放大倍数处于20倍~40倍范围内，把刻度板镶嵌到屏幕上，把样品夹固定在载物台上。

　　3、按规定确定要测量的三条直径的位置。

　　4、把待测硅片固定在样品夹上，使被测直径处于测量位置，调节影像仪的焦点，使硅片边缘轮廓清晰地显示在显示屏上。

　　5、调节载物台的垂直位置，以便硅片被测直径的试样图像与显示屏上水平坐标轴一致。样片显示在屏幕的右边。

　　6、调节螺旋测微计，以便主轴在标准量程中心±30%移动。

　　7、松开并移动样品夹，使硅片边缘的影像靠近刻度板垂直轴线。

　　8、重新紧固样品夹，旋转测微计主轴进行微小平移调节，以便硅片边缘影像刚好和垂直轴线相切。注意主轴旋转方向，做最后调节。记下此时螺旋测微计读数。

　　9、选择和硅片直径尺寸相当的标准长度量块，记录基准长度，清洁量块，如果多个长度量块形成一个参考长度，按照量块使用要求把他们沿合在一起。

　　10、小心移动载物台，原理螺旋测微计主轴，把标准长度量块放在测微计轨道上，移动载物台，轻轻靠向标准长度量块。

　　11、旋转测微计主轴，使得每一次测量的对边影像刚好与垂直轴线相切，最终调节测微计主轴旋转方向与步骤8一直，以消除主轴向后靠的影响。记录第二个测微计读数。

　　12、旋转硅片，使另一条被测直径处于测量位置，重复5~11测量步骤，直至完成三条直径测量，并计算测量结果。